真空等离子清洗机
型号：SGR-1300
品牌：GRM
产品简述
1、等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。
（A）控制单元
控制单元液晶触摸屏控制方式。 而控制单元又分为两个大的部分：
1）电源部分：主要电源频率是13.56MHz、13.56MHz 是需要电源匹配器的
2）系统控制单元是液晶触摸屏控制
（B）真空腔体
真空腔体材质：高强度铝合金腔体
（C）真空泵
产品特点
处理温度低：
处理温度可以低至50°C以下，低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。
处理全程无污染
等离子清洗机本身是很环保的设备，无产生任何污染，处理过程也无产生任何污染。可以搭配原有生产流水线，实现全自动在线生产，节约人力成本。
处理效果稳定：
等离子清洗的处理效果非常均匀稳定，常规样品处理后较长时间内保持效果良好。
可以处理各种形状的样品：
对于复杂形状的样品等离子清洗都能找到合适的解决方案。真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。
性能优势
德国电路技术：
采用德国高压激励电源电路技术,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果
全面安全防护：
温度过高,过载,气压失常,短路断路,误操作,等全面的报警保护功能。
级密封腔体：
级的高真空度密封腔体材质及制造工艺
灵活的气体配方选择：
可选择两路、三路、四路气体配方方案,满足不同工艺要求。
优质产品部件：
全部部件采用国内外优质部件,运行稳定寿命更长
低温清洗：
满足不同场合温度要求,不对清洗产品造成温度影响。
环保简易：
极低的运行成本,操作简单,过程无化学污染物排放,符合环保规范
等离子清洗的作用
等离子清洗的作用原理主要是：
（A）对材料表面的刻蚀作用--物理作用等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
（B）激活键能，交联作用
等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基不这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。
（C）形成新的官能团--化学作用如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会収生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。
参数指标
整机规格
约1150×1350×1850（长×宽×高）mm
整机重量
约400 Kg
铝合金清洗腔体规格
780×400×475（长×宽×高）mm
铝合金清洗腔体有效积
130L
输入电源
380V（三相）／50 Hz
整机输入功率（含真空泵）
2500 W
射频输出（连续可调）
0～600 W,配置真空电容自动匹配器,输出方式是恒功率模式，电源本身输出功率是实际功率
射频频率
13.56 MHz
清洗时间定时器范围
0～99.99 min
真空泵
德国技术，双极旋片真空泵，抽速可达60m³/h
极限真空度
工作真空度≦30Pa
真空度测量及量程
1.0×105～1.0×10－1 Pa进口电子真空计
气体流量计及量程
国内领先品牌，量程0-300SCCM
进气阀
全自动电子挡板阀
玻璃观察窗
观察清洗舱内辉光状态
常用工作气体
氧气氩气氮气或混合气体可选
气路
独特的气路分布结构，确保气体分布均匀
PLC
德国西门子PLC，全自动程序控制
触摸屏
威纶通触摸屏，人性化界面，极易操作
全面安全防护
温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，各种 误操作保护功能
电气部件
全采用施耐德
气压调节部件
SMC品牌
电极板
特殊处理的电极板结构，确保放电均匀，清洗效果
腔体：
级的高真空密封腔体
