有机异物分析是指针对产品表面的有机异物，根据异物的形态、检测深度及检测面积等差异而选用特定的仪器，对其有机成分进行分析，判定其主成分，从而获取异物信息的一种分析方法。有机异物在放大观察下常常表现出较为透明且性软等特点。目前有机异物的分析手段主要有以下几种：
| 分析手段 | 典型应用 | 分析特点 | 参考标准 |
|---|---|---|---|
| 红外光谱FTIR | 有机物定性；有机污染物分析 | 能进行微区分析，其显微镜测量孔径可到8μm或更小，可方便地根据需要选择样品不同部分进行分析 | GB/T 6040-2002 |
| 飞行时间二次离子质谱TOF-SIMS | 有机材料和无机材料的表面微量分析；表面离子成像；深度剖面分析 | 优异的掺杂剂和杂质检测灵敏度，可以检测到ppm或更低的浓度；深度剖析具有良好的检测限制和深度辨析率；小面积分析 | ASTM E1078-2009 ASTM E1504-2011 ASTM E1829-2009 |
| 动态二次离子质谱D-SIMS | 产品表面微小的异物分析；氧化膜厚度分析；掺杂元素的含量测定 | 分析区域小，能分析≥10μm直径的异物成分；分析深度浅，可测量≥1nm样品；检出限高，一般是ppm~ppb级别 | ASTM E1078-2009 ASTM E1504-2011 ASTM E1829-2009 |
