光学粗糙度仪和轮廓仪 非接触式表面测量仪

超精密加工这个行业覆盖面比较广，包括航空航天上用到精密零部件，包括金属、陶瓷片和石英制的精密器件，大多数由于要求在检测过程中不能划伤器件表面，在检测方式上需要采用非接触式的方式。而单一的光学非接触测量方法难以完成对大面形或曲率较大的高反射曲面零件三维形貌的高精度测量。

白光干涉仪实现了超精密加工高反射曲面三维形貌的高精度非接触测量。

中图仪器SuperViewW1粗糙度仪和轮廓仪是非接触高精密测量，不会划伤甚至破坏工件，测量速度快，不必作探头半径补正，对高深宽比的沟槽结构，可以快速而准确的得到理想的测量结果。

SuperViewW1粗糙度仪和轮廓仪可以对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、平面度、面形轮廓、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、表面缺陷、磨损情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、3C电子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

自动拼接功能的使用，即不管是在光滑还是粗糙、平面亦或是异形结构，当必须测量超出适配镜头下的单视场区域时，都可以采用自动拼接，而中图仪器SuperViewW1金属表面粗糙度检测仪器，可根据不同表面特点进行重建算法的切换，无论何种形貌，都可生成“天衣无缝”的3D全景。

自动拼接功能