第一阶段：1969年之前
主要表现为结构型传感器。结构传感器利用结构参量变化来感受和转化信号。例如：电阻应变式传感器，它是利用金属材料发生弹性形变时电阻的变化来转化电信号的。
第二阶段：1969年后的20年左右
70年代开始发展起来的固态传感器，由半导体、电介质、磁性材料等固体元件构成，是利用材料某些特性制成的。如：利用热电效应、霍尔效应、光敏效应，分别制成热电偶传感器、霍尔传感器、光敏传感器等。
70年代后期，随着集成技术、分子合成技术、微电子技术及计算机技术的发展， 出现集成传感器。
集成传感器包括2种类型：传感器本身的集成化和传感器与后续电路的集成化。这类传感器主要具有成本低、可靠性高、性能好、接口灵活等特点。
集成传感器发展非常迅速，现已占传感器市场的2/ 3 左右，它正向着低价格、多功能和系列化方向发展。
第三阶段：一般指20世纪末至今
所谓智能传感器是指其对外界信息具有一定检测、自诊断、数据处理以及自适应能力，是微型计算机技术与检测技术相结合的产物。
80年代智能传感器刚刚开始发展，此时的智能化测量主要以微处理器为核心，把传感器信号调节电路、微计算机、存贮器及接口集成到一块芯片上，使传感器具有一定的人工智能。
90年代智能化测量技术有了的提高，在传感器一级水平实现智能化，使其具有自诊断功能、记忆功能、多参量测量功能以及联网通信功能等。
