12英寸ESC静电吸盘 E-CHUCK 维修 翻新
欢迎了解咨询!
静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护;静电吸附单元电极采用高频导体,表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜,一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜,在保证输出稳定,避免高压静电压尖锐击穿。静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护;静电吸附单元电极采用高频导体,表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜,一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜,在保证输出稳定,避免高压静电压尖锐击穿。