美国TSI 4140型质量流量计

入口/ 出口直径

6.4 mm

9.525 mm

22 mm ISO渐缩

12.7 mm

19.1 mm

气体校准

空气、O2、N2 (41403还包括N2O)

空气、O2、N2 (41433还包括N2O)

空气、O2、N2、空气和O2的

混合气体

LCD 显示单位

L/min，StdL/min，cm3/min,Std cm3/min

L/min，StdL/min，

流量测量

范围

0.01-20 StdL/min

0 -300StdL/min

0 -200StdL/min

误差

空气和O2: 读数的± 2% 或0.005Std L/min,较大值 N2O,N2: 读数的± 3% 或0.010 Std L/min, 较大值

空气和O2：读数的± 2% 或0.05Std L/min,较大值 空气/O2混合气体,N2：读数的± 3% 或0.1 Std L/min,较大值

响应

时间

4ms(满量程的63%)

4ms(满量程的63%)

尺寸

127 × 49 ×32mm

182 × 63 ×53mm

体积测量

0.01-99.9 L

误差

读数的± 2%

压力测量

50-199 kPa（*对压强）

± 1kPa

<4ms（63%终值，阶跃变化）

温度测量

0-50℃

± 1℃(流量大于1 StdL/min)

<75ms（63%*终值，阶跃变化）

模拟输出

0?10V直流，仅流量。跨度可调（通过RS232）

数字输出

RS232

直流电源输入

7.5 ±1.5V，电流峰值300mA