当一种高能量电子束作用到一个试样上时会产生X射线，这种X射线随着试样中不同的化学组成（原子类别）特征而具有不同的能量（波长）。每种元素的X射线强度与该元素在试样中的含量相关。本测试正是通过能谱法来检测这些特征X射线的强度来得到元素的组成和含量。能谱分析的特点：无损伤分析，分析速度快。
测试项目：能谱分析。
测试目的：定性或定量的对试样微区的元素含量和元素组成进行分析。
项目介绍：当一种高能量电子束作用到一个试样上时会产生X射线，这种X射线随着试样中不同的化学组成（原子类别）特征而具有不同的能量（波长）。每种元素的X射线强度与该元素在试样中的含量相关。本测试正是通过能谱法来检测这些特征X射线的强度来得到元素的组成和含量。能谱分析的特点：无损伤分析，分析速度快。
测试要求：
测试标准 | 标准名称 | 样品要求 | 测试内容 | 适用范围 |
GB/T 17359-2012 | 微束分析 能谱法定量分析 | 分析材料应在变化压力下和电子束轰击下稳定。样品测试表面应平整无污染。 | 测定元素含量 | 质量分数高于1%的元素；分析原子序数大于10的元素分析置信度更高 |
ASTM E1508-2012a(2019) | 能谱法定量分析指南 | EDS测定单质浓度 | 元素含量高于或等于0.1%时分析更快更准确 |
