DM系列探针台
产品简介：
DM系列探针台是我司一款基于高校教育与实验室而研发的基础型晶圆测试探针台。其结构紧凑，设计精密，价格实惠，在高等院校教学和小型实验室科研过程中得到广泛运用。配合对应的仪器仪表，可以用于测试各类器件的IV/CV,PIV,光电信号等。也可以放置于手套箱内，配合特殊气氛使用。一般适用于学校和工厂小型实验室。
产品优势：
探针台与显示器一体化设计，大大减小了设备的占地空间
具备自适应减震系统，一定程度上可防止外界震动的干扰。
U型平台镀镍设计，不仅增大了针座的加载空间，还提高了针座平台和针座之间的吸附力
详细参数：
技术参数 产品型号 | DM-4 | DM-6 | DM-8 | |
探针台本体 | 整机尺寸 （mm） | 400L*400W*520H | 450L*450W*520H | 500L*500W*520H |
重量 | 25kg | 30kg | 40kg | |
自适应减震系统 | 具备自适应减震系统 ， 一定程度上可防止外界震动的干扰 | |||
卡盘大小 | 4 英寸 ， 360 度转动 ， 可微调 | 6 英寸 ， 360 度转动 ， 可微调 | 8 英寸 ， 360 度转动 ， 可微调 | |
卡盘行程和精度 | 4 英寸*4 英寸 ， 精度 10um | 6 英寸*6 英寸 ， 精度 10um | 8 英寸*8 英寸 ， 精度 10um | |
卡盘吸附方式 | 真空吸附 ， 可选择环形吸附或者多孔吸附 （适用于薄片） | |||
背电极测试功能 | 具备 ， 样品台电学独立悬空 ， 带 4mm 香蕉头插口 | |||
针座平台 | 材质 | U 型平台 ， 镀镍 ， 与探针座之间具备更强吸附力 | ||
大小 | 多可放置4个探针座 | 多可放置6个探针座 | 多可放置8个探针座 | |
显示系统 | 显微镜 | 体式显微镜/视频显微镜（注意视场） | ||
倍率范围 | 16X~100X/60X~420X | |||
调焦范围 | 50.8mm | |||
显微镜移动 | 显微镜环绕立柱旋转式设计 ， 便于快速移动显微镜 | |||
CCD 成像系统 | 200 万/500 万像素 ，帧率60fps，带拍照/录像/测量功能等功能 | |||
探针座 | 种类 | DR/L-100m/V 和 DR/L-40m | ||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
机械精度 | 0.35um/0.7um/2um | |||
夹具 | 漏电精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口/SMA/裸线等 | |||
其它 | 选件 | 屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘等 | ||
电力需求 | 220V/50HZ | |||