在对精密工件表面质量高要求的如纳米材料、航空航天、半导体等领域中，现有的接触式测量方法具有测量速度慢、易划伤测量表面的缺点，而单一的光学非接触测量方法难以完成对大面形或曲率较大的高反射曲面零件三维形貌的高精度测量，只有3d光学轮廓仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。
白光干涉仪属于精度高达到亚纳米级别的检测仪器，对使用的现场环境（地面振动、空气中声波振动）比较敏感，因此中图3d光学轮廓仪品牌仪器底下都是加了气浮平台进行隔振的。
中图3d光学轮廓仪重复性0.1%，分辨率0.1μm，操作简便，应用领域广泛，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。
产品特点：双重防撞保护措施
（1）软件防撞保护ZSTOP
即在Z轴上设置停止位，设置位置到样品表面的距离小于镜头的工作距离，当镜头运动到该位置时，就立刻停止不再向下运动，起到保护样品和镜头的作用。
（2）Z轴硬件防撞传感器
在镜头的上方安装有机械防撞传感器，当镜头向下位移与样品表面直接接触时，触发感应器，镜头与样品表面变为软接触，并触发紧急停止开关，不再响应向下位移的指令，避免镜头和样品的损伤，双重防护，守护设备和产品，也守护每一分价值和信任。