TO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下,氧化铟透过率高,氧化锡导电能力强,液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性,会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质,俗称“霉变”,在存放时要防潮。
ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应,形成其它导电和透过率不佳的反应物质,在加工过程中,尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。ITO层由很多细小的晶粒组成,晶粒在加温过程中会裂变变小,从而增加更多晶界,电子打破晶界时会损耗一定的能量,ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高,电阻也加大。
目前,TCO薄膜主要应用于平板显示器和建筑两大领域.与其他类型的导电薄膜相比,氧化物透明导电膜不仅导电性好,还像玻璃一样具有高的透明性,可以把它看作一种用途十分广泛的特征功能薄膜.主要用途为:
1)、显示器件中的电较材料.如制作场致发光(EL)器件的电较,液晶显示器件(LCD)中的透明电较以及电致变色显示器件(ECD)中的电较等.
2)、防静电,防电磁屏蔽层.为了防止静电,必须使方阻小于109Ω.
3)、面发热体.SnO2薄膜的电热转换效率在90%以上,通电后立即产生热效应.
4)、热反射膜.SnO2和ITO薄膜在红外部分的反射率可达到80%以上.
5)、太阳能电池.(1)SIS异质结太阳能电池,(2)太阳能电池的减反射膜.
6)、薄膜电阻器.
7)、气敏传感器.现已能探测甲烷,CO、CO2、H2、H2S、乙醇等多种气体和烟尘.
8)、终端设备.用透明导电薄膜制作薄膜开关.
9)、汽车玻璃.
总之,氧化物透明导电薄膜用途十分广泛,除上面列举的一些用途外,还有一些其他的用途,如电阻照相,静电复印,光记录,磁记录,保护层等.这类材料的研制和开发日益受到人们的重视.
随着平板显示器的需求量越来越大以及对太阳能利用的需求不断加大,透明导电膜玻璃的需求将会越来越大.预计其市场在今后几年将达到近100亿元.