EBSD(电子背散射衍射)技术主要用于快速获取晶体材料的晶体学信息,可对材料进行织构和晶粒间取向差分析,晶粒尺寸及形状分布分析,晶界、亚晶及孪晶分析,应变和再结晶的分析,以及相鉴定和相含量计算等,解决材料在结晶、薄膜制备、半导体器件、形变、再结晶、相变、断裂、腐蚀等过程中的问题。
国家有色金属及电子材料分析测试中心,在JSM-7001F型场发射扫描电镜上配备了EDAX公司的EBSD装置,与安装在普通钨灯丝的EBSD装置相比,具有光源强,采集速度快,菊池线质量高等优点。通过该公司新的TSLOIM Data-Collection 5软件,可对采集数据进行各种解析。实验室对铝合金、镁合金、钛合金等材料有丰富的制样及EBSD数据分析经验。
关键词:材料微观组织结构分析,透射电镜分析,透射电镜测试,透射电镜检测,透射电子显微镜检测,透射电子显微镜测试