光刻胶别名为光制抗蚀剂,是通过各种射线的照射来融化分解易发生变化的薄膜材料。
光刻胶因其材质的特殊性、产品品种较多、技术性要求强等标准,使光刻胶在电子工业制造中的要求较为严格。
1、对比度,指光刻胶从曝光区域到非曝光区域过渡的陡度,对比度越好,得到的图形越好;
2、感光度,指在胶膜上产生一个良好图形所需一定波长的光的能量值,即曝光量。
3、分辨率,是光刻工艺的一个特征指标,表示在基材上能得到的立体图形良好的z小线路;4、残膜率,经曝光显影后,未曝光区域的光刻胶残余量;
5、粘附性,蚀刻阶段,光刻胶有抗蚀刻能力;
6、涂布性,光刻胶在基材表面形成无针孔、无气泡、无缺陷、膜厚均一;
7、洁净度,对微粒子和金属离子含量等材料洁净度的影响;
8、耐热性,光刻工艺中,经过前烘使光刻胶中的溶剂蒸发,得到膜厚均一的胶膜。
光刻胶在微电子加工图形技术中作为关键材料,它作用于多种工艺的光敏性材料,用技术在特殊材料上形成图案,所以光刻胶配方分析技术在行业中起到更新晚上产品缺陷的作用,挪亚检测具有的技术研发储备,以客户的生产研发目标为己任,提供完善的配方分析技术,帮助企业了解z新行业产品动态。
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