自动石英晶圆超声波清洗机

全自动石英晶圆超声波清洗机是一台全自动超声波清洗机，清洗过程人工控制，6个由不锈钢材质制作的超声波清洗槽、漂洗槽及烘干装置组成的一条连续工作的清洗线，操作者将装有工件的清洗篮放入清洗槽内，依次提往各工序段，对工件进行一系列清洗烘干，完成一个清洗过程，具体结构见附图和以下说明。

二：设备用途：用于石英晶圆超声波清洗、干燥

三：设备能力：按每5-10分钟出一篮，一篮装一层，工件有序排放（不能装太深，以免影响清洗效果及效率）。节拍可调。

四：全自动石英晶圆超声波清洗机功能及洁净度                                          

1.洁净度要求：工件在线清洗，本身不能有变色及被腐蚀现象。清洗后的工件表面不能有油污、灰尘及其它污染物.

2.表面处理要求：均匀一致，无色斑、污渍；

3.干燥要求：实现清洗后工件的表面干燥。

五：传输方式：人工手动传输。

六：全自动石英晶圆超声波清洗机清洗工艺流程

工艺流程：上料→溶剂超声波清洗→纯水超声波清洗→纯水超声波清洗→纯水超声波清洗→慢拉脱水→热风烘干→下料

七：超声波的基本原理及特点

由超声波发生器产生的28/40KHZ的超音频电信号，通过换能器的压电效应转换成同频率的机械振荡，并以超音频机械波的形式在清洗液中辐射。由于超音频机械波传播的正压区和负压区交替作用，产生无数超过1000个大气压的微小气泡并随时爆破，形成对清洗物表面的细微局部高压轰击，使物体表面及缝隙之中的污垢迅速剥落，这就是超声波清洗所特有的“空化效应”。

全自动石英晶圆超声波清洗机清洗槽：

（1）内槽尺寸：500×550×500 （L×W×Hmm）

（2）槽体采用SUS3162.0mm不锈钢板材制作。

（3）设有溢流装置，流出的清洗液进入储液槽，经过环过滤系统过滤后使用；

（4）全自动石英晶圆超声波清洗机配进水阀，排污阀，排污进总排水管；

（5）加热：管式加热装置或是铝加热板，加热功率6KW。加热温度50-80℃可调（为了防止热量散失，所有加热部分外槽均包有保温棉，保温棉厚度10mm），温度控制公差±3℃（下同）,；单显温控器采用日本“欧姆龙”牌。

（6）清洗介质：市水+光学玻璃清洗剂

全自动石英晶圆超声波清洗机干燥系统，采用成熟的环保型全水基清洗工艺，利用超声波渗透力强的机械震动力冲击工件表面并结合清洗剂的化学去污作用使工件表面达到高洁净要求后，再采用慢拉脱水及洁净热风对工件进行干燥处理。

清洗区共设有两套不同频段的超声波清洗工位，由低频转向高频进行步进式清洗，并配备抛动助洗机构，可保证工件清洗后的洁净度。

干燥区则采用慢拉脱水及循环热风烘干系统工作，确保工件完全干燥，并且无水印存在，为下道工序提供良好的工艺条件。