一激光沉积系统是一台多功能、快速、高质量的制膜设备:能够制备高质量半导体光学薄膜,速率**可控到原子数量级,可进行材料调控级生长高真空,保证薄膜质量。
主要性能指标:真空室直径Ф500mm;主腔室极限真空的压强小于9 E-9Torr;进样室可抽真空至压强小于<5E-7Torr;在0.1Torr氧气压下基片可加热至1200℃;可同时安装3个靶材,并可实现靶材的自转和公转;德国Lambda-Physik准分子激光器高达800mJ的高能量激光。
二 激光沉积器激光测验报告FDA认证组织认证过程:
1、咨询请求人供给产品材料图片或经过描绘阐明所需求请求FDA的产品及材料.
2、报价依据请求人供给的材料,技能工程师将作出评价,断定须测验的项目,并向请求方报价
3、请求方承认报价后填写测验请求表和测验样品
4、样品测验--测验将按照所适用的FDA规范进行
5、测验完成后供给FDA认证报告
三现有功能与服务范围:可实时监控薄膜材料的生长过程,实现薄膜的**生长、可制备铁电薄膜材料、磁性薄膜材料、光学薄膜材料、多功能复合薄膜等材料。