表面成分分析化学价态异物分析深度刻蚀检测

X射线光电子能谱仪（XPS） 俄歇电子能谱仪（AES）X射线光电子能谱利用光电效应的原理，测量X射线激发出的光电子能量和计数，对样品表面几个纳米深度的范围内进行半定量的成分和化学态分析；俄歇电子能谱利用电子激发出的俄歇电子，对表面进行微区的成分和化学态分析。XPS和AES结合离子溅射还可以对多层膜等样品进行深度剖析，测得每层的成分、化学态以及相应的厚度。测试范围与服务项目：各种固体表面的元素成分、化学价态、分子结构分析和深度剖析等。 扫描电子显微镜（SEM） X射线能谱仪（EDS）扫描电子显微镜利用二次电子或背散射电子成像，对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察，*大放大倍数可达30万倍，同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析。测试范围与服务项目：各种固体材料的形貌分析、微区化学成分检测，样品成分的线分布和面分布分析。