Hitek XR150-603-02 X射线衍射仪设备高压发生器维修

Hitek XR150-603-02 X射线衍射仪设备高压发生器维修

Hitek 应用对象包括：刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统，也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源
CLX系列低频电源、CLF系列低频电源、CX系列高频电源、CX5K和CX10K高频射频功率源、CXH系列高功率/高频电源、CPS系列高频电源、CB系列高频射频电源、CV系列甚频（VHF）电源、CDX系列双频电源、XDC1000直流电源、MATCH自动调谐网络、ESC系列静电夹盘电源CDX 1000 - P/N FP5201R1/CDX 2000 - P/NFP5315RF/CDX 2000 - P/N FP5318R2/CDX 2000 - P/N FP5319R2/CDX 2000 -P/N FP5320R3/CLF 500 - P/N FP1254R2/CLF 1000 - P/N FP1252R2/CLF5000 - P/N FP1541RC/CLX 600 - P/N FP1245R1/CLX 2500 - P/NFP1333R2/CLX 2500 - P/N FP1335R2/CLX 2500 - P/N FP1335R4/CLX 2500 -P/N FP1336R3/CPS 500 - P/N FP0112RF/CPS 500AS - P/N FP0113RK/CPS1000 - P/N FP0213RK/CPS 1001 - P/N FP0213RJ/CX 650 - P/NFP3116R3/CX1250S - P/N FP3212RB/CX 1250S - P/N FP3212RC/AGA-2760Mhz 2,7kW - P/N/AGA-27A3/ENI / MKS/DPGS-10 - DC / RF Generator -P/N DPGS-10-04/DPGS-10 - DC / RF Generator - P/N DPGS-10-05/DPGD-10- DC /RF Generator - P/N DPGD-10-04/DPGD-10 - DC /RF Generator -P/N DPGD-10-05

美国SEREN（赛恩）电源：

R系列射频电源：R301-13、R601-13、R1001-13、R1001/1.2、R2001-13、R5001-13、R5001-13、R10,001-13、R15,001-13、R20,001-13 HR系列射频电源：HR601HRL10011001、HR1501、HR2001-AC、HR2001、HR3001、HR5001 L系列低频电源：L301、L601、L1001、L2001、L3001、L5001I系列射频电源：专用于ICP领域

AT系列自动匹配器：AT-3、AT-6/100、AT-6/500、AT-10、AT-20、AT-30、AT-50/120、AT-50/140、AT-100/160、AT150/180、AT-250/250

德国镀膜电源：
PFG300-RF、PFG600-RF、PFG1000-RF、PFG1600-RF、PFG2500-RF、PFG5000-RF