HUTTINGER Elektronik通快高频电源Plasma RF 7010 7015维修

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HUTTINGER Elektronik通快高频电源Plasma RF 7010 7015维修包括：PECVD、MOCVD、IONIMP,PLASMA的设备电源,包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER等。电源维修的时候，我们需要利用万用表检测一下各功率器件是否存在击穿短路，例如电源整流桥堆、开关管、高频大功率整流管、抑制浪涌电流的大功率电阻是否烧断等，需要再检测各输出电压端口电阻是否异常，如上述器件有损坏的情况我们则需要进行更换新的器件。