射频电源维修中心型号RF CUBIC
一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源
1、AE(ADVANCEDENERGY)射频电源/直流电源
2、MKSENI射频电源/直流电源
3、DAIHEN射频电源
4、KYOSAN射频电源/直流电源
5、COMDEL射频电源
6、ADTEC射频电源
7、SEREN射频电源
二、RF MATCH(射频电源匹配网络)
1、AE (AdvancedEnergy) RF Match Network
2、LAM RFMatch Network
3、AMATRF Match Network
4、SERENRF MATCH NETWORK
5、DAIHEN RFMatch Network
6、SEREN RFMatch Network
AE(AdvancedEnergy)、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源,
HiTek Power,Glassman、Spellman高压电源,Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源