射频电源维修ADVANCED ENERGY RFX 600

射频电源维修ADVANCED ENERGY RFX 600

AE（AdvancedEnergy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源，

HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源。

ASTeXMicrowave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH  LAMP、ESCHV PSU。

维修半导体设备电源，主要有高压电源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流电源（DC PowerSupply）、

射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RFMatch、Smart Match、RPSC等设备维修。

温度控制泵浦，设备冷却系统，品牌有SMC，小松、大金、申和等

大功率电源维修为主的工业自动化设备维修公司，主要从事半导体制造设备、半导体封装设备、光伏太阳 能生产设备、电镀行业设备电子备件维修。公司拥有的电源维修工程师，对各种大功率开关电源维修、AE电源维修、电镀电源维修、ADL电源维修、射频电源维修，RF电源维修、高频电源维修、ups电源维修等有深厚的维修功底和丰富的维修经验。我们本着“精益求精”的服务宗旨，努力提高维修技术，扩展测试手段，丰富维修经验，更新测试设备，积累一些常见的维修技巧，为用户排忧解难，从而更快、更好的服务于用户。我们的维修更具有修复、合理周期短、无需电路图等优点。服务范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统，工业系统中感应加热和