射频电源维修RFPP LF-30
ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator2、MUEGGE Microwave PowerSupply微波电源3、ASTeX Smart Match
维修半导体设备电源,主要有高压电源(High PowerSupply)、框架式可控大功率直流电源(DC Power Supply)、射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave PowerSupply)及RF Match、Smart Match、RPSC等设备维修。温度控制泵浦,设备冷却系统,品牌有SMC,小松、大金、申和等