ASTEX CPS SMARTMATCH维修中心
射频电源维修、对光伏企业生产设备如:刻蚀设备所用的国产中科院及中国微电子所研究制造的SY型射频功率源包括黑色面板和白色面板两种,功率包括:1KW、1.5KW、2KW、10KW以及进口刻蚀设备射频电源维修;PECVD所用的美国AE PEII 10K 和 AE PEII 5K等AE射频电源维修;RF射频电源维修。我们的维修具有成功、维修速度快,等优点。
一、RFGenerator射频电源维修和配套直流电源
1、AE(ADVANCEDENERGY)射频电源/直流电源
2、MKSENI射频电源/直流电源
3、DAIHEN射频电源
4、KYOSAN射频电源/直流电源
5、COMDEL射频电源
6、ADTEC射频电源
7、SEREN射频电源
二、RFMATCH(射频电源匹配网络)
1、AE (AdvancedEnergy) RF Match Network
2、LAM RFMatch Network
3、AMATRF Match Network
4、SERENRF MATCH NETWORK
5、DAIHEN RFMatch Network
6、SEREN RFMatch Network