射频电源,TELEMARK高压电源,TELEMARK膜厚仪电源维修
射频电源常见故障及维修:
故障现象1:打开电源,电源指示灯不亮;
故障现象2:电源灯亮了,预热灯不亮;
故障现象3:电源灯亮了,预热灯亮、辉光亮,匹配器功率及反射功率,电源的功率指示和电流指示不正常。(正常的功 率指针指到220,电流指示0.4)
故障现象4:电源灯亮了,预热灯亮,辉光不亮:;
故障现象5:无功率输出;
故障现象6:有功率输出,调不大,或是调不到正常值。
故障现象7:无反射功率,或反射功率过大,射频功率源坏
射频电源维修、对光伏企业生产设备如:刻蚀设备所用的国产中科院及中国微电子所研究制造的SY型射频功率源包括黑色面板和白色面板两种,功率包括:1KW、1.5KW、2KW、10KW以及进口刻蚀设备射频电源维修;PECVD所用的美国AE PEII 10K 和 AE PEII 5K等AE射频电源维修;RF射频电源维修。我们的维修具有成功、维修速度快,等优点