激光束诊断
鉴于激光所能提供的一切以及它们所能带来的优势，激光束诊断这一过程的重要组成部分经常被忽视。有两个关键的诊断测量需要确保面板之间的激光一致性：
激光束输出功率，以及
激光束诊断：光束的大小、形状和强度。激光功率
第一个测量是使用NIST校准的激光功率计监测激光器的输出功率。无论激光束的质量如何，如果输出功率低于规格，划线过程都将被拒绝。由于大多数激光划线器以KHz速率工作，测量平均功率就足够了。
激光功率检测器的有效面积应为激光束大小的两倍，动态测量范围为100mW至100W。这种类型的传感器应提供至少20kw/cm²的损坏阈值，以允许对1mm光束直径进行功率测量。这种类型的传感器还应在工艺的特定工作波长下进行NIST校准，通常为1064nm或532nm。
FL600A-B-65是一款通用风扇冷却式热功率/能量激光测量传感器，孔径为65mm。它可以测量5W到600W的功率和600mJ到600J的能量。它具有光谱平坦的宽带涂层，覆盖0.19至11µm的光谱范围。
产品型号：FL600A-BB-65
产品品牌：以色列OPHIR
使用范围：通用型
吸收类型：宽光谱
波长范围：0.19 - 11
探头直径：Φ65mm
功率范围：5W - 600W
切换档位：600W / 60W
噪音：200mW
损伤阀值：12 at 150W 7 at 600W
响应时间：4
精度+/-%：3
现性度+/-%：1.5
能量范围：600mJ - 600J
切换档位：600J / 60J / 6J
*小可测能量：600
能量密度：
<100ns：0.3
1μs：0.4
0.5ms：4
2ms：10
10ms：30
制冷方式：风冷
光纤适配器：Consult Ophir representative
重量：2.4kg
序号:标准传感器：7Z02762
