全自动晶圆粉体清洗机提供高可重复性、高均匀性及Z先进的兆声清洗。它可以在一个工艺步骤中包含了利的无损兆声清洗、化学试剂清洗、刷子清洗以及干燥功能。
全自动晶圆粉体清洗机特点：
1、可更换清洗吸盘，可使用4-12英寸的清洗吸盘；
2、操作程序可按作业需求编写调整，设备运行流程、清洗时间及各项参数可自行编制；
3、设备运行状态及参数在线实时监控，自动门配有安全光栅，保证操作安全；
4、采用真空吸附式清洗盘，晶元夹具的取放更安全、方便；
5、全自动晶圆粉体清洗机摆臂式清洗，清洗范围可编制，适用范围广、无清洗盲区、无二次污染，清洗效果更佳；
6、设备清洗室全密封，且配有自动挡水圈，有效防止二次污染；
7、高速离心设计，转速可调节100-2000R/Min；
8、配备独特的静电消除装置，辅助清洗达到**效果，可选择使用氮气；
9、全自动晶圆粉体清洗机配有大面积透明观察窗；
10、缩减宽度的省空间设计，结构紧凑，占用空间小；
11、整机镜面不锈钢机身，能耐酸碱，对工作环境无污染，镜面机壳易于保养。
全自动晶圆粉体清洗机规格参数：
设备外观尺寸： | 620mm（L）×760mm（W）×1600mm（H） | |
清洗盘规格： | 4-12英寸（可选） | |
清洗盘尺寸： | 定制 | |
纯水入口径： | 外径Ø8mm纯水软管 | |
排水出口径： | 3/4″软管 | |
气源入口径： | Ø12mm PU气管 | |
排风口口径： | 2.5″皮管接头（75mm外径） | |
电源供应： | AC220V; 50HZ ;5A | |
总功率： | 1.5KW | |
耗电量： | 清洗时: 1.5kw/h | 待机时: 0.5kw/h |
气源供应： | 0.45-0.7Mpa | |
DI水供应： | ＞0.35Mpa | |
清洗压力： | 3.8-8Kgf/cm² | |
离心转速： | 100-2000R/Min | |
传动马力： | 1HP | |
纯水消耗量： | 0-1000ML/Min | |
气体消耗量： | 200-500L/Min | |
空气过滤方式： | 一级0.01μm除油过滤器；二级0.01μm精密过滤器 | |
环境过滤方式： | 0.3μm；99.99% | |
机器净重： | 约200KG | |