纯度级气体检测

有机高纯气体分为：

烷烃类：甲烷（CH4）、乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、环丙烷（cyc-C3H6）、正丁烷（n-C4H10）、异丁烷（i-C4H10）、正戊烷（n-C5H12)、新戊烷（neo-C5H12）、氯甲烷（CH3Cl）、氯乙烷（C2H5Cl）、三氟甲烷（CHF3）、环氧乙烷（C2H4O）、砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、硼烷（B2H6）、硅烷（SiH4）等；

烯烃类：乙烯（C2H4）、丙烯（C3H6）、丙二烯（C3H4==）、1-丁烯（1-C4H8）、异丁烯（i-C4H8)、反-2-丁烯（t-2-C4H8）、顺-2-丁烯（c-2-C4H8）、1.2-丁二烯（1.2-C4H6）、1.3-丁二烯（1.3-C4H6）、氯乙烯（C2H3Cl）等；

炔烃类：乙炔（C2H2）、1-丁炔（1-C4H6）、2-丁炔（2-C4H6）、甲基乙炔（C3H4）、乙烯基乙炔（C4H4=≡）等；

其他：二甲醚（C2H6O）、甲硫醇（CH4S）、熏蒸剂（C2H4O-CO2)等

无机高纯气体分为：

1、空气（Air）、氢气（H2）、氧气（O2）、氮气（N2）、氩气（Ar）、氦气（He）、氖气（Ne）、氪气（Kr）、氙气（Xe）等；

2、氨气（NH3）、氯气（Cl2）、二氧化硫（SO2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、二氧化氮（NO2）、氧化亚氮（N2O）、氧硫化碳（COS）、氯化氢（HCl）、溴化氢（HBr）、硫化氢（H2S）等；

3、三氟 化硼（BF3）、三氯化硼（BCl3）、四氟化碳（CF4）、四氟化硅（SiF4）、四氯化硅（SiCl4）、六氟化硫（SF6）等

检测标准（部分）：

GB/T 18994-2014 电子工业用气体高纯氯

GB/T 3634.2-2011 氢气第2部分：纯氢、高纯氢和超纯氢

GB/T 4844-2011 纯氦、高纯氦和超纯氦

GB/T 8979-2008 纯氮、高纯氮和超纯氮

GB/T 14599-2008 纯氧、高纯氧和超纯氧

GB/T 17873-2014 纯氖和高纯氖

GB/T 18994-2014 电子工业用气体高纯氯

HG/T3633-1999 纯甲烷

GB/T14599-1993 高纯氧高纯