集成电路制造(晶圆制造和芯片密封测试)、平板显示制造(前段TFTFab、中段LCD成盒组装/OLED组装后显示模块,MEMS(前段晶圆制造与后段器件封装)等等。
以工厂人体静电引起的微电子设备问题为例(HumanBodyModel,人体静电放电模型),让我们检查人体静电分析与人体静电相关的技术认知和实践方法。
下图为LED被人体静电击穿失效的图片:
基于这种情况LED静电失效机理(正向导通静电放电),人体放电产生的放电电流范围越大,这SMDLED电性失效的风险越高(通常SMDLED工作电流幅值几毫安)(LCD屏幕模组工厂中LED静电损伤常称为坏灯—即通低电流不再发光);
要有效保护SMDLED不会被工作人员身体上的静电放电“击穿”,就必须将工作中操作人员的人体静电压管控得足够低(由LED承载电流*确定人体皮肤电阻)。
在工厂的静电保护实践中,必须做的是检测人体静电带电的真实水平,即检测人体静电的有效方法,以确认工厂当前的人体静电控制措施是否足够有效。如果您不知道怎样检测,可以来看看深圳斯泰科微的静电压传感器和人体行走电压测试仪,多款产品皆可满足您的需求。
现实情况是,相当多的电子制造工厂采用基于国际工业的人体静电压检测方法ESD标准(美标ANSI/ESDS20.20、欧标IEC61340-5-1)测试方法,即借助CPM设备(ChargedPlate Monitor,静电充电板测试仪)。
那么,这种检测人体静电(静电压)的方法真的能反映人体静电带电量吗?如果人体静电检测方法失真,会对工厂人体静电控制的技术分析和判断造成一定的干扰或误差。
只要你了解CPM基于基本的物理分析,可以明确判断设备测量静电压及其充电板的电容参数:
CPM通过其充电板与人体串联,人体静电并联20pF由此产生的人体静电压必须明显低于人体原有的静电压(人体静电
荷/人体对地电容)(人体对地电容一般为100pF左右),即,CPM通过测量人体静电压获得的数据显偏小失真。
那么,如何实现无失真检测人体静电带电的目的呢?
其实有CPM方法检测人体静电压,即消除静电压测量仪器并联电容的影响,即用非接触式静电压计测量人体皮肤(
如手掌)的静电压。