PiezoDrive用于精密加工150V压电环堆叠执行器
SR系列环形堆叠致动器是具有真空兼容聚合物涂层和大中心孔径的高性能多层致动器。SR环堆叠与一系列PiezoDrive放大器和驱动器模块匹配。应用包括:光学、显微镜、纳米定位和精密加工。
规格参数:
订购编号 | 范围+/-10% | 长度+/-0.05mm | 环形尺寸 | ID | Cap. | 制动力 | 刚性 | 谐振 频率 | 重量 |
SR080410 | 14um | 10mm | 8mm | 4.5mm | 0.8uF | 1300N | 130N/um | 150kHz | 3.0g |
SR080418 | 28um | 18mm | 8mm | 4.5mm | 1.6uF | 1300N | 65N/um | 83kHz | 5.0g |
SR120610 | 14um | 10mm | 12mm | 6mm | 2.4uF | 3000N | 220N/um | 150kHz | 6.7g |
SR120620 | 30um | 20mm | 12mm | 6mm | 5.0uF | 3000N | 100N/um | 75kHz | 12.9g |
电容
致动器电容是在室温下测量的小信号电容。由于磁滞,有效电容随着施加的电压而增加。在全量程工作时,有效电容大约是小信号电容的两倍。电容也随着温度的升高而增加。大约50摄氏度的温度升高将使有效电容增加一倍。