薄膜成分分析方法:
1、X射线光电子能谱;(10纳米,表面);
2、俄歇电子能谱;(6nm,表面);
3、二次离子质谱;(微米,表面)
4、电子探针分析方法;(0.5微米,体相)
5、电镜的能谱分析;(1微米,体相)
6、电镜的电子能量损失谱分析;(0.5nm)
为达此目的,成分分析按照分析手段不同又分为光谱分析、质谱分析和能谱分析。
(1)光谱分析
主要包括火焰和电热原子吸收光谱AAS,电感耦合等离子体原子发射光谱ICP-OES,X-射线荧光光谱XFS和X-射线衍射光谱分析法XRD;
(2)质谱分析
主要包括电感耦合等离子体质谱ICP-MS和飞行时间二次离子质谱法TOF-SIMS。
(3)能谱分析
主要包括X射线光电子能谱XPS和俄歇电子能谱法AES