定性分析
定性分析是确定样品中是否存在某个元素或一组元素。仪器能否进行完全定量分析直接与分析方法及仪器检测能力有关。理想状态下，希望只用一个样品溶液同时测定主量、微量、痕量及超痕量元素含量。这就要求仪器对不同元素同位素具有宽的动态响应范围。实际使用过程中，通常难以在一个样品溶液同时测定主量元素（响应强度高）及超痕量元素（通常在未稀释样品中进行测定）。此时，通常可以选择主量元素丰度极小的同位素，降低响应灵敏度。若元素无低丰度同位素，则可使用两种检测器（用电子倍增器检测低浓度待测物，用法拉第杯检测高浓度元素）。
用于定性分析的质谱图Zui简单的方式是采用光谱扫描。连续扫描1~240质量数范围的元素，测得每个质荷比m/z处离子电流大小。所得谱图包含每个质量数上对应的单个强度值。若对每个指定的质量数进行多次扫描，可以得到更全面的谱图信息。例如，对每个质荷比m/z测定10次，所得质谱图包含更多谱峰信息。
若只需测定有限个元素，则可采用跳峰扫描方式。
定性分析通常用来初步判断未知样品组分。获得样品组分初步信息后，可采用更复杂的分析方法对其进一步分析。虽然定性分析是Zui简单的元素定性方式，还需大量工作进一步确认，但可以对样品进行半定量估计，使分析人员判定是否存在某元素外还可获得其他丰富信息。