洁净室内生产设备和产品生产过程的产尘量主要取决于产品生产过程的特点、选用的设备状况及其采取的技术措施、选用的原料辅料、工艺介质的纯度及其输送系统等；近年来由于采取了各种技术措施，降低了这类产尘量，如采用封闭隔断及局部排风措施等，使产尘区域相对于周围空间又一定的负压，防止粉尘扩散开来，以至危害其他工序的洁净度；采取排风罩等措施将工艺产尘排走，尽可能减少扩散到生产车间的粉尘量；车间机械设备的轴承、齿轮、传动皮带等运动部件在工作过程中，由于润滑油升温炭化及机械磨损等原因而散发到空气中的尘埃，越来越引起某些高洁净度工艺的关注；在集成电路生产中，随着集成度的提高，要求生产环境控制0.1μm尘粒达到1级或较严的洁净度，为了减少洁净室建造费用并可靠地达到别要求，目前许多大规模集成电路工厂采用微环境技术和生产工艺自动化技术，采用机械手、机器人，从而减少了室内人员等因素，使室内产尘总量下降。但一般洁净在通常情况下，室内主要的污染源仍然是人。
为保证产品生产环境或其他用途的洁净室所要求的空气洁净度，要采取多种综合技术措施才能达到要求。这些综合技术措施包括：应采用产生污染物少的生产工艺及设备，或采取必要的隔离和负压措施防止生产工艺产生的污染物质向周围扩散，采用产尘少、不易滋生微生物的室内装修材料及工器具；减少人员及物料带入室内的污染物质；维持生产环境相对于室外或空气洁净度等级要求低的邻室有一定的正压，防止室外防止室外或邻室的空气携带污染物质通过门窗或其他缝隙孔洞侵入；加强洁净室的管理，按规定进行清扫、灭菌等。洁净室的空气净化处理就是根据房间不同的洁净度等级要求，采用不同方式送入经过处理的数量不等的清洁空气，同时排走相应数量的携带有在室内所产生的污染物质沾污的脏空气，靠这样的动态平衡，使室内环境维持在所需的空气洁净度等级。通常所指的空气污染物质主要有以下三类；悬浮在空气中的固态、液态粒子，包含附着在粒子上的分子污染物；霉菌、等悬浮在空气中的微生物；各种对人体或生产产品有害的气体。目前洁净室对送入空气的净化方法，重要和使用广泛的方式是空气过滤法，送入洁净室的清洁空气，主要是靠在送风系统的各部位设置不同性能的空气过滤器，用以除去空气中的悬浮粒子和微生物。