全自动晶圆退火前清洗机
2024-08-02 18:59 120.229.85.53 1次- 发布企业
- 深圳市通利达自动化设备有限公司商铺
- 认证
- 资质核验:已通过营业执照认证入驻顺企:第19年主体名称:深圳市通利达自动化设备有限公司组织机构代码:914403003498176543
- 报价
- 人民币¥350000.00元每台
- 关键词
- 全自动晶圆退火前清洗机
- 所在地
- 深圳市龙华区大浪街道同胜社区三合华侨新村11号7层A7
- 联系电话
- 0755-27524017
- 手机
- 15817282530
- 经理
- 李生 请说明来自顺企网,优惠更多
产品详细介绍
全自动晶圆退火前清洗机设计的系统,独立系统,占地面积小,非常适合有限的空间。具有4路化学液清洗,兆声清洗,双面PVA刷洗,去离子水冲洗等清洗模块,对晶圆有dingji的清洗能力。
全自动晶圆退火前清洗机产品特色:
晶圆Zui大 300mm
PVA双面刷洗
支持4路化学液清洗,包括氨水与SCI液体
全自动晶圆退火前清洗机工作台含驱动组件,用于晶圆低速旋转(50-100rpm)
化学清洗臂含 4 路化学液
具有去离子水和稀释氨分配的水坑喷嘴
具有去离子水的 BSR(背面冲洗)喷嘴
全自动晶圆退火前清洗机具有带有流通孔的工艺室
标配三种不同化学品供应系统
工艺室外的手动去离子水枪。
化学液可加热,Zui高可达 60°C(Zui高85°C )
外部可更换化学液
全自动晶圆退火前清洗机支持兆声清洗
支持高压等离子水冲洗
全自动晶圆退火前清洗机技术数据:
衬底尺寸: Ø200 mm (Ø8inch) 或 Ø300 mm (Ø12 inch)
电机转速: Zui大 3.000 rpm, 步长 1rpm
电机加速: 1 至 999.9 秒,步长 0.1 s
全自动晶圆退火前清洗机工艺腔室: 由 PP 白色制成(可选 PVDF)
成立日期 | 2015年07月31日 | ||
法定代表人 | 李金友 | ||
注册资本 | 100 | ||
主营产品 | 超声波清洗机、工业纯水机、工业冷水机、电镀设备、超声波塑焊机的销售;国内商业、物资供销业;货物及技术进出口。(以上均不含法律、行政法规、国务院决定禁止及规定需前置审批项目)^; | ||
经营范围 | 精密超声波清洗设备、高压喷淋清洗设备、纯水设备、冷水机组研发设计、制造 | ||
公司简介 | 深圳市通利达自动化设备有限公司是一家从事精密超声波清洗设备、高压喷淋清洗设备、纯水设备、冷水机组研发设计、制造及经营服务于一体的设备企业。凭着丰富的行业经验和不断进取的信念,本着“以人为本、技术创新、诚信服务”的经营理念,使研发及制造技术处于清洗行业的前沿。公司正以技术为先导,以科学务实的管理基础,把“通利达”建设成为充满朝气和活力的高科技企业。生产各种类型的超声波清洗机、喷淋清洗机,同时设计开发 ... |
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