石英舟清洗机清洗石英舟时,将石英舟的支架安放在酸洗槽底部,骑跨在用于清洗转动石英管石英管的传动轴的上方,将要酸洗处理的石英舟置放在此支架上进行酸洗处理。酸洗结束后,通过PLC控制的气动隔膜泵将酸液泵进另一个槽,酸洗槽两侧的喷淋管对石英舟喷淋或者用进DIY水进行漂洗(由操作者决定采取哪种方式处理或处理均可),漂洗结束后再用氮气人工吹干
石英舟清洗机清洗石英管时,取出骑跨在用于清洗转动石英管的传动轴上方的支架,将4个石英管人工抬进酸洗槽内,先进行酸洗,酸洗结束后,通过PLC控制的气动隔膜泵将酸液泵进另一个槽,酸洗槽两侧的喷淋管对石英舟喷淋或者用进DIY水进行漂洗(由操作者决定采取哪种方式处理或处理均可),漂洗结束后再用氮气人工吹干。清洗石英舟与清洗石英管不能在一个工艺槽内进行。
石英舟清洗机处理石英管的尺寸
本机器可处理1200~1500片的石英舟(1370X200X147),单槽可以放置2个石英舟,也可以处理直径为330mm、长度Zui大为2900mm的石英管
石英舟清洗机总构
机器采用框架式结构,框架外覆聚丙烯板,整机为全封闭结构,避免环境污染。
石英舟清洗机动作及工艺流程
该设备内设两个槽,两个槽功能对等,如果一个槽用于酸洗、漂洗;则另一个槽可以用于储存酸液,便于酸液回用。
操作方式 PLC控制,手动/半自动/自动
适用领域 半导体、光伏
石英舟清洗机适用工艺 对石英炉管、石英舟腐蚀清洗
清洗方式 酸液浸泡、水槽清洗、高压喷射、氮气鼓泡
石英管转动 自动
石英管上下料 自动/手动
可清洗尺寸 2吋--12吋石英炉管、石英舟