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LG Chem LUPOYGP2156FL特性:
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塑料小贴士:
晶圆载具晶圆载具顾名思义就是用来装载晶圆,有晶圆承载盒、晶圆传送盒、晶舟等。晶圆存放在运输盒内的时间在整个生产过程中占比很高,晶圆盒本身的材质、质量和干净与否都可能会对晶圆质量产生或大或小的影响。晶圆在制造过程中需要经过:切割、抛光、清洗、光刻等多道工序。这个过程中存在许多有腐蚀性的化学液体。晶圆载具的材料要求:耐高温、耐磨、耐腐蚀、防静电、高纯度、兼具刚性和韧性等特点。PEEK材料是制作晶圆载具的理想材料:一般采用抗静电PEEK。