材料的表面形貌分析主要是在样品的浅表面（几个纳米范围内）进行形貌观察。而对于更深入的剖析及多层薄膜的分析，以及内部的晶体结构分析，就需用到离子溅射或制备精密的断面作分析。能够实现离子溅射的设备包括AES,SIMS,XPS等；能够制备精密断面的设备包括FIB(聚焦离子束)，CP（断面离子抛光机），精研一体机，金相研磨等。而对于晶体结构分析，TEM（透射电镜）是有力的工具。
分析方法概述
材料内部结构及成分分析是材料科学研究中的一个重要领域，它涉及到多种分析方法和技术手段。这些方法可以帮助研究人员了解材料的微观结构、晶体结构、相组成以及元素分布等信息，从而为材料的设计、加工和应用提供科学依据。
常用分析方法
1.金相分析
金相分析是一种通过显微镜观察金相组织来研究材料内部组织和成分的方法。这种方法可以获取材料的晶体结构、晶界、相变、晶粒大小等信息，从而揭示材料的内部结构特征。在进行金相分析时，需要对材料进行切片和磨光处理，使用显微镜进行观察和拍摄。配合不同的显色试剂，可以凸显材料的组织特征，以便进行更详细的分析。
2.X射线衍射分析
X射线衍射分析是通过测量材料对X射线的衍射图案来分析其晶体结构的方法。每种晶体结构都会产生独特的衍射图案，可以通过分析这些图案来确定材料的晶体结构和相组成。X射线衍射分析是研究晶体结构的重要工具，广泛应用于材料科学、物理学和化学等领域。
3.红外吸收光谱
红外吸收光谱分析是通过测量材料对红外光的吸收情况来分析其分子结构和化学键的方法。每种分子都有其独特的红外吸收光谱，可以通过分析这些光谱来确定材料的化学成分和分子结构。红外吸收光谱分析在有机化学和药物分析中有着广泛的应用。
4.核磁共振波谱法
核磁共振波谱法（NMR）是通过测量样品中核磁矩在外磁场中的进动频率来分析其分子结构和动态行为的方法。NMR可以提供关于分子内部的原子排列、旋转和振动的信息，是研究有机化合物和生物大分子的重要工具。
5.热分析法
热分析法是通过测量材料在加热或冷却过程中的物理或化学变化来分析其成分的方法。常见的热分析方法包括差示扫描量热法、热重分析法和热膨胀分析法等。这些方法可以用来研究材料的热稳定性、相变和成分变化
分析技术手段
俄歇纳米探针系统
飞行时间二次离子质谱仪
X-射线光电子能谱仪
透射电子显微镜
聚焦离子束
精细研磨设备
