哪里做扫描电镜检测 金属表面成分EDS+SEM检测

哪里做扫描电镜检测 金属表面成分EDS+SEM检测，咨询深圳华瑞测试分析中心

一、SEM - EDS检测原理

扫描电子显微镜（SEM）利用二次电子或背散射电子成像，对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察，大放大倍数可达30万倍，利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析，这就是EDS（X射线能谱仪）的工作原理，二者结合（SEM+ EDS）可用于金属表面成分检测。

二、检测范围

1. SEM成像分辨率

• 二次电子成像分辨率约3nm，背散射电子成像分辨率约300nm。

2. EDS成分分析元素范围

• 元素范围从Be（铍）到U（铀）。

3. 分析深度与检测下限

• 分析深度约1μm，检测下限约1%，空间分辨率约1μm。

三、可检测项目

1. 微观形貌观察及尺寸测量

• 例如断口显微形貌观察、金属表面微观结构观察、镀层厚度测量等。对于金属表面，可以观察其微观的平整度、粗糙度以及是否存在缺陷等。在测量镀层厚度方面，可从待测试样上指定部位垂直于覆盖层切割一块试样，经过镶嵌、研磨、抛光和侵蚀制成横截面试样，进行测量。

2. 金属表面成分分析

• 可对金属表面微区的元素进行定性、半定量分析。在实际应用中，如果金属表面有镀层，能分析镀层的元素组成；如果是金属本身存在腐蚀或者杂质，也能确定相关的元素成分。例如在分析金属表面的氧化层成分或者表面沾染的异物成分时，SEM- EDS可以发挥作用。在分析磷化镀镍层时，可以通过EDS监控不同配方的镀液得到的化学镍镀层中磷的含量。

3. 定位测试点

• 在金属表面失效分析中，可以用来定位失效点，在金属表面异物分析中，可以用来定位异物点。例如如果金属表面出现腐蚀坑或者局部性能异常，SEM- EDS有助于确定问题所在的具体位置和相关的元素异常情况。

四、提供检测服务的相关机构

        深圳华瑞测试分析中心

• 可测试的材料包括金属材料、无机非金属材料、聚合物复合材料。除了SEM - EDS检测外，还提供材料微观形貌和分析（如FT -IR、SEM、EDS、AFM、TEM等）、材料导热系数、热机械性能分析、材料粒度、密度、接触角、比表面积等物理性能表征、材料光谱吸收特性分析以及材料的性能测试等服务。

• 包括金属非金属测试、环境可靠性、成分分析、产品失效分析等，可提供SEM+EDS扫描电镜+能谱分析（金属材质异物分析）检测报告、测试报告。

• 可利用SEM/EDS分析金属镀层中各种元素的质量分数，在金属表面镀层分析方面经验丰富，如进行镀层缺陷分析、镀层厚度分析、镀层成分分析等。其采用的切片+SEM- EDS（扫描电镜 - 能谱仪）方法，可以对多层镀层分别测试每层的镀层成分。