晶体管表面异物EDS测试
晶体管表面异物的EDS(Energy DispersiveSpectroscopy)测试是一种常见的分析技术,用于对材料微区成分元素种类与含量进行分析。EDS通常与扫描电子显微镜(SEM)或透射电子显微镜(TEM)配合使用,通过电子束与物质作用时产生的特征X射线来提供样品的化学组成信息。
EDS测试的基本原理
EDS测试的基本原理是利用电子束激发样品表面,产生特征X射线。这些X射线的信号被探测器接收,并转换成电脉冲信号,经过放大和多道脉冲高度分析器处理后,根据不同能量的X射线分配到不同的频道,Zui终在荧光屏上显示谱线。通过计算机软件进行定性和定量计算,可以得出样品中存在的元素及其含量。
EDS测试的优点
EDS测试具有以下优点:
分析速度快,效率高:能对原子序数在11—92之间的所有元素(包括C、N、O等超轻元素)进行快速定性、定量分析。
稳定性好,重复性好。
适用于粗糙表面的成分分析,如断口等。
能对材料中的成分偏析进行测量。
EDS测试的步骤
EDS测试主要包括以下几个步骤:
定性分析:通过EDS的谱图中的谱峰来鉴别样品中存在的元素。这是分析未知样品的第一步,对于确定次要或微量元素,需要处理谱线干扰、失真和每个元素的谱线系等问题。
定量分析:通过X射线强度来获取组成样品材料的各种元素的浓度。这通常涉及到测量未知样品和标样的强度比,并经过定量修正换算成浓度比。
元素的面分布分析:在近代的新型SEM中,可以通过扫描观察装置,使电子束在试样上做二维扫描,测量其特征X射线的强度,从而得到特征X射线强度的二维分布的像。
EDS测试的应用
EDS测试可以应用于多种领域,包括但不限于:
对PCB板上的助焊剂残留、金属件的表面氧化物、PVC线皮析出的物质、螺母的表面油污、塑胶制品中夹杂的白色颗粒、显示屏上的外来物、铜丝表面发黑、焊锡发黑等进行成分分析1。
对金属材料的表面异物进行定性定量检验。
通过EDS测试,可以有效地对晶体管表面的异物进行成分分析,帮助研究人员了解异物的来源和成分,从而采取相应的措施进行改进。