现代电子产品要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性,以人们熟悉的手机、笔记本电脑为例,它所使用的集成电路、电子元器件以及其组装的生产过程都要求在受控环境条件下进行操作,其中以集成电路生产过程对受控环境的要求尤为严格,当今线宽为45nm的超大规模集成电路产品已投入生产,其受控生产环境—洁净室(区)的受控粒子尺寸要求小于0.02μm甚至更小。
作为第三方洁净室检测中心,中科检测具备多种洁净领域检测项目的CMA资质,能为医院手术室、血液病房、ICU病房、化妆品厂房、一次性卫生(医疗)用品生产厂房、电子厂房、食品厂、制药车间、电子厂房、生物安全实验室、动物实验室等不同洁净环境提供洁净工程检测服务,以及各种洁净相关实验。
无尘车间检测是什么
无尘车间检测就是针对电子无尘车间的洁净室和洁净区进行检测,检测其洁净度是否符合标准,确保工程设计做到技术先进、经济适用、安全可靠、节约资源,满足电子产品生产工艺的需求。
由于电子产品的种类繁多,无尘车间检测的要求也有不同。各类电子产品生产所需纯水水质、气体及化学品的纯度和杂质含量等应根据生产工艺要求确定。单向流和混合流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于65dB(A),非单向流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于60dB(A)。
在现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001中等同采用《洁净室及相关受控环境第一篇》ISO14644-1中有关洁净室及相关受控环境空气中悬浮粒子洁净度级别划分。各类产品的品种不同、生产工艺不同,所要求的空气洁净度等级也不相同。
无尘车间检测等级
无尘车间检测等级:8″和4″、5″硅单晶及硅片加工
8″硅单晶及硅片加工:单晶拉制、原辅材料腐蚀为8级,磨片清洗、喷砂、加热炉室、检测封装、磨片、腐蚀清洗、抛光室为7级,石英管清洗、腐蚀清洗、加热炉后室、抛光贴片为6级,清洗﹑检测、包装为4级,Zui终检测为3级;
4″、5″硅单晶及硅片加工:单晶拉制、原辅材料腐蚀、磨片清洗、喷砂、加热炉室、检测封装、抛光室为二级过滤,磨片、腐蚀清洗、抛光贴片为二级过滤及局部5级,清洗﹑检测、包装、Zui终检测均为6级及局部5级。
无尘车间检测等级:微硬盘驱动器(HDD)生产用洁净厂房
溅射生产区4级:01pm、温度23±1℃、湿度45%±5%;
组装、测试等6级:03pm、温度23±2℃、湿度45%±10%。
无尘车间检测等级:高密度磁盘生产用洁净厂房
1)切带间、带基间、涂布间、固化间等6级:0.5m、温度23±1℃、湿度50±5%,其中,涂布间的头部要求5级;
2)组装间7级:0.5m、温度23±2℃、湿度50±10%;
3)配件间、化验室8级:0.5pm、温度24±3℃、湿度50±10%。
无尘车间检测等级:磁头生产用洁净厂房
磁头装配、溅射烧结等要求4级(0.1μm),研磨、检测等要求5级(0.1μm),切割等要求6级。
无尘车间检测等级:印制电路板生产用洁净厂房
6.5级、温度24±2℃、湿度65%±5%。
无尘车间检测等级:锂电池生产
干作业洁净生产区:6级、温度23℃,露点(DP)-30℃;
组装、测试洁净室(区):7级、温度23±2℃、湿度≈20%。
无尘车间检测等级:等离子显示器(PDP)生产用洁净厂房:
涂屏间等:5.5级、温度25±2℃,湿度50%±10%;
其他生产间:6.5~8级、温度20~26℃、湿度55%±10%。
无尘车间检测方法
过滤器检漏:对于安装于送、排风末端的高效过滤器,应用扫描法进行,过滤器安装边框和全断面检漏,扫描法有检漏仪法和采样量Zui小为1L/min粒子计数器法两种,以于超高效过滤器,扫描法有凝结核计数器法和激光粒子计数器法两种。
静压差的检测:静压差的测定应在所有的门关闭时进行,并应从平面上Zui里面的房间依次向外测定。对于洁净度高于100级的单向流(层流)无尘车间,还应测定在净化车间门开启状态下,离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。
风量和风速的检测:1、风量风速检测必须净化车间进行,净化空调各项效果必须是在设计的风量风速条件下获得。2、风量检测前必须检查风机运行是否正常,系统中各部件安装是否正确,有无障碍(如过滤器有无被堵、挡),所净化车间有阀门应固定在一定的开启位净化车间置上,并且必须实际测量被测风口,风管尺寸洁净车间。
洁净车间洁净度的检测:测定洁净度的Zui净化车间低限度采样点数按规定确定,每点采样次数不少于3次,各净化车间点采样次数可以不同。
单向流(层流)无尘车间截面平均风速、速度不均匀度的检测:1、测定截面。2、测定风速宜用测定架固定风速仪以避免人体干扰,不得不手持风速仪测定时,手臂应伸直至Zui长位置,使人体远离测头。