XPS测试原理是什么？
XPS测试原理就是藉由光电效应，当X光照射至样品内部时，原子内层的电子将被激发产生光电子，而只有靠近材料表面的光电子才能逃离被仪器测得。藉由分析此光电子，可得知表面元素组成种类，进而判断化学链结。
XPS测试应用领域有哪些？
1．表面污染/变色之成份分析(SurfaceSurvey) : 样品表面100A以内的成份分析。
2．表面化学组态分析(Narrow Scan) : 样品表面100A以内的元素化学组态键结分析。
3．样品氧化状况(氧化层厚度及氧化态)分析。
4．多层薄膜纵深分析(Depth Profile) : 藉由Ar 离子溅蚀样品的表面，得到不同深度的元素信号之纵深分布。
5．图谱分析(Mapping): 分析样品区域元素信号，得到区域元素分布影像图。
6．线扫描(LineScan): 分析样品直线上的元素信号，得到直线元素分布图。
7．针对样品表面更细微的结构进行化学态分析(ChemicalState Analysis)、纵深分析(DepthProfile)，满足科研、教学、企业内部质量控制、企业产品研发等目的。
8．
XPS设备技术参数及测试能力？
1、X射线源：单色化AlKα射线源，可实现样品表面聚焦及扫描（10μm~1400μ×1400μm）；
2、测试：可实现低工作功率（1~100W）、小角度（分辨率≤±1°）、温度可调控（-120℃~500℃）原位测试；
3、Ar离子枪+Ar团簇离子枪：满足金属、陶瓷、有机聚合物、复合材料、半导体材料及器件等样品表面刻蚀、深度剖析；
4、紫外光源UPS：价带、功函数测试（标样优于120meV）；
5、双束中和系统：独立调节电子束（低至1~2eV）和离子束，高质量获谱（PET中O=C-O中C1s FWHM ≤ 0.85eV）；
6、Al/Mg双阳极可满足准确的峰位信息辨别需求；
7、多路气体、高低温（-196℃~800℃）准原位化学反应。
XPS测试注意事项有哪些？
1、放射性、具有磁性的样品、在X光照射下会分解的样品，不能进行测试；2、样品尺寸：厚度小于5mm；长宽在10mm X10mm以内；需刻蚀和深剖的样品是块体3、样品用量：粉末样品原则上越细越好，5mg左右即可；对于块状（不规则形状时）样品，需要送样人将样品加工成片状，上下两面互为平行面。4、样品需提前干燥，保护测试面，避免测试面被污染。 5、送样时请注明姓名，联系电话，样品个数以及测试要求等。
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