日本BETHEL热分析仪器热物性显微镜TM3B

热物性显微镜TM3B主要是测量热物性值中热渗透率的一种设备，可以进行微小领域（微米等级）和纳米薄膜等的测量。

热物性显微镜TM3B的优势：

・ 热物性显微镜是测量热物性值中热渗透率的一种设备；

・ 可以通过点、线、面测量样品的热物性；

・ 可测量微米等级的热物性值的分布；

・ 全球首个非接触方式且高分辨率的热物性测量设备；

・ 检测光点径3μm、高分辨率来测量微小领域的热物性（点、线、面 测量）；

・ 可改变深度范围进行测量，从薄膜、多层膜到散装材料都可测量；

・ 基板上的样品也可测量；

・ 激光非接触式测量；

・ 可检测薄膜下的裂纹、孔隙、脱落等问题。

微小领域（微米等级）、纳米薄膜、Sic（单晶体、多晶体）、AIN等的测量。

 主要规格

 名称／商品名 

   热物性显微镜／Thermal Microscope

 测量模式

   热物理性分布测量 （1次元・2次元・1点）

 测量项目  

   热渗透率、（热扩散率）、（热传导率）

 检测光点径

   约3μm

 1点测量标准时间

   10秒

 测量对象薄膜

   厚度 数百nm～数十μm

 重复精度

   耐热玻璃、硅的热渗透率±10%以内

 样品

   ・样品支架 30mm×30mm，厚度5mm，样品表面的镜面需要研磨

   ・板状样品30mm×30mm以内，厚度3mm以内，样品表面需Mo溅镀 

 使用温度范围

   24℃±1℃（根据设备内部温度感应器）

 平台移动距离

   ・X轴方向20mm  ・Y轴方向20mm   ・Z轴方向10mm

 加热用激光

   半导体激光波长：808nm

 检测用激光

   半导体激光波长：658nm

 电源

   AC 100V~1.5kVA

 标准配件

   样品支架、基准样品

 *选项

   光学平台、空调机、空调用booth、spatter装置

 本体

   外形尺寸：730(W) x 620(D) x 560(H)mm  重量：80.0Kg

 电源箱

   外形尺寸：620(W) x 480(D) x 310(H)mm  重量：26.4Kg