深圳市玥祥隆科技有限公司生产的硅溶胶抛光液产品特点如下:
1.分散性好、不结晶 。2.粒径分布广泛:5-100nm。3.高纯度(Cu2+含量小于50ppb),有效减小对电子类产品的沾污。
4.经特殊工艺合成的化学机械抛光液,纳米颗粒呈球形,单分散,大小均匀,粒径分布窄,可获得高质量的抛光精度。5.适合与各种抛光垫、合成材料配合抛光使用。
6.PH、粒径、稳定离子等可以根据客户定制(10-150 nm)
应用领域
硅片、硬盘基片、二氧化硅、蓝宝石、精密光学器件等的抛光。
抛光过程中具有:
1.高抛光速率,利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。(可以生产150 nm)。
2.高平坦度加工,本品抛光是利用SiO2的胶体粒子,不会对加工件造成物理损伤,达到高平坦化加工。
抛光过程后具有:
1.精度可以达到埃级
2.划伤和挖伤可以达到0/0
抛光液物性表
主要成分: 外观: 密度: pH值:
SiO2 白色液体 1.15±0.05 9.8±0.5
抛光温度: 稀释率<1: 抛光压力:
10~38℃ 1~10 150~250g/cm&sup2