真空等离子清洗机SGR-1300

真空等离子清洗机

型号：SGR-1300

品牌：GRM

产品简述

1、等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。

（A）控制单元

控制单元液晶触摸屏控制方式。 而控制单元又分为两个大的部分：

1）电源部分：主要电源频率是13.56MHz、13.56MHz 是需要电源匹配器的

2）系统控制单元是液晶触摸屏控制

（B）真空腔体

真空腔体材质：高强度铝合金腔体

（C）真空泵

产品特点

处理温度低：

处理温度可以低至50°C以下，低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。

处理全程无污染

等离子清洗机本身是很环保的设备，无产生任何污染，处理过程也无产生任何污染。可以搭配原有生产流水线，实现全自动在线生产，节约人力成本。

处理效果稳定：

等离子清洗的处理效果非常均匀稳定，常规样品处理后较长时间内保持效果良好。

可以处理各种形状的样品：

对于复杂形状的样品等离子清洗都能找到合适的解决方案。真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。

性能优势

德国电路技术：

采用德国高压激励电源电路技术,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果

全面安全防护：

温度过高,过载,气压失常,短路断路,误操作,等全面的报警保护功能。

级密封腔体：

级的高真空度密封腔体材质及制造工艺

灵活的气体配方选择：

可选择两路、三路、四路气体配方方案,满足不同工艺要求。

优质产品部件：

全部部件采用国内外优质部件,运行稳定寿命更长

低温清洗：

满足不同场合温度要求,不对清洗产品造成温度影响。

环保简易：

极低的运行成本,操作简单,过程无化学污染物排放,符合环保规范

等离子清洗的作用

等离子清洗的作用原理主要是：

（A）对材料表面的刻蚀作用--物理作用等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

（B）激活键能，交联作用

等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基不这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

（C）形成新的官能团--化学作用如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会収生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。

参数指标

整机规格

约1150×1350×1850（长×宽×高）mm

整机重量

约400 Kg

铝合金清洗腔体规格

780×400×475（长×宽×高）mm

铝合金清洗腔体有效积

130L

输入电源

380V（三相）／50 Hz

整机输入功率（含真空泵）

2500 W

射频输出（连续可调）

0～600 W,配置真空电容自动匹配器,输出方式是恒功率模式，电源本身输出功率是实际功率

射频频率

13.56 MHz

清洗时间定时器范围

0～99.99 min

真空泵

德国技术，双极旋片真空泵，抽速可达60m³/h

极限真空度

工作真空度≦30Pa

真空度测量及量程

1.0×105～1.0×10－1 Pa进口电子真空计

气体流量计及量程

国内领先品牌，量程0-300SCCM

进气阀

全自动电子挡板阀

玻璃观察窗

观察清洗舱内辉光状态

常用工作气体

氧气氩气氮气或混合气体可选

气路

独特的气路分布结构，确保气体分布均匀

PLC

德国西门子PLC，全自动程序控制

触摸屏

威纶通触摸屏，人性化界面，极易操作

全面安全防护

温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，各种 误操作保护功能

电气部件

全采用施耐德

气压调节部件

SMC品牌

电极板

特殊处理的电极板结构，确保放电均匀，清洗效果

腔体：

级的高真空密封腔体