供应FitTech裸晶测试仪
型号：APT 6000
设备名称：整合型LED晶粒/晶圆点测机 裸晶测试仪型号：APT 6000
标准配备1. 机构部分：
X、Y、Z、θ轴(精度详见规格)
Chuck table（非导电盘&导电盘，共2块）
XYZ 调整座 2 座
Edge Sensor 2 座
彩色CCD 1组，1倍镜头，供扫描定位用、供探针定位、外观检视用
掀开式遮光罩
电控箱
分光卡：350nm-1050nm
选配部分：
清针模块 (毛刷 & 贴片& 吹气)
è 毛刷及贴片为耗材，依客户的使用状况决定更换次数
ESD 模块：HBM/MM ±4 KV
è Relay寿命保证：6个月或2亿次(以先到为主)
2. 测试机部份
电源供应器：SF
Tester基本架构图如下：APT6000
3. IPC 部分
中央处理器：双核心 CPU G34203.2 GHz
存储器：4G
硬盘：500G
17”LCD或以上荧幕、光学鼠标、键盘
作业系统 : Win 7
l 通用规范.
项目
描述说明
规格
工作面积
2~7.8英寸
198mm
卡盘
平面化
±0.01 mm
X 轴
Zui大行程
200 mm
分辨率
0.5 μm
精度
< 10 μm over 100mm
Y 轴
300 mm
Z 轴
8 mm
1.2 μm
< 5 μm over 30 mm
θ axis
轴旋转范围
± 30°
0.0018°
< 10 μm over 160mm
机器视觉
摄像机
CCD
照明
遥控
焦距
手动调整
校准
自动校准
CCD 分辨率
1280*960 像素
透镜放大倍数
1x
屏显
6.4mm × 4.8 mm
l 测试规格.
l 测量表 : SF
项目
单位
规格
机器尺寸W × D × H
mm
930x900x1670
机器重量
Kg
600
电源
V
110
电源电流
A
13
气压
Kgf/cm²
5
空气流量
NL/min
空气管直径
ψ10
真空压力
mmHg
-660
真空流量
40
真空管直径
mm
ψ6