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集成电路(IC)芯片在封装工序之后,必须要经过严格地检测才能保证产品的质量,芯片外观检测是一项必不可少的重要环节,它直接影响到 IC产品的质量及后续生产环节的顺利进行。外观检测的方法有三种:一是传统的手工检测方法,主要靠目测,手工分检,可靠性不高,检测效率较低,劳动强度大,检测缺陷有疏漏,无法适应大批量生产制造;二是基于激光测量技术的检测方法,该方法对设备的硬件要求较高,成本相应较高,设备故障率高,维护较为困难;三是基于机器视觉的检测方法,这种方法由于检测系统硬件易于集成和实现、检测速度快、检测精度高,使用维护较为简便,在芯片外观检测领域的应用也越来越普遍,是IC 芯片外观检测的一种发展趋势。
集成电路芯片的硬件缺陷通常是指芯片在物理上所表现出来的不完善性。集成电路故障(Fault)是指由集成电路缺陷而导致的电路逻辑功能错误或电路异常操作。导致集成电路芯片出现故障的常见因素有元器件参数发生改变致使性能极速下降、元器件接触不良、信号线发生故障、设备工作环境恶劣导致设备无法工作等等。电路故障可以分为硬故障和软故障。软故障是暂时的,并不会对芯片电路造成性的损坏。它通常随机出现,致使芯片时而正常工作时而出现异常。在处理这类故障时,只需要在故障出现时用相同的配置参数对系统进行重新配置,就可以使设备恢复正常。而硬故障给电路带来的损坏如果不经维修便是性且不可自行恢复的。