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微机械温度传感器

微机械传感器与传统的传感器相比，具有体积小、重量轻的特点，其固有热容量仅为10J/K～10J/K，使其在温度测量方面具有传统温度传感器不可比拟的优势。开发了1种硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。基于硅和二氧化硅两种材料热膨胀系数的差异，不同温度下梁的挠度不同，其形变可通过位于梁根部的压敏电桥来检测。其非线性误差为0.9%，迟滞误差为0.45%，重复性误差为1.63%，精度为1.9%。

其他微机械传感器

利用微机械加工技术还可以实现其他多种传感器，例如瑞士Chalmers大学的PeterE等人设计的谐振式流体密度传感器，浙江大学研制的力平衡微机械真空传感器，中科院合肥智能所研制的振梁式微机械力敏传感器等。

MEMS气体流量传感器：高精度，检测流量范围广，适用于各种需求的流量计测。

MEMS压力传感器：性能偏差小的MEMS压力传感器。

MEMS非接触温度传感器：对静止人体也能检测，高灵敏度的人体感应传感器。

MEMS开关：高频，小型，长寿命的MEMS开关。

中国在 MEMS 传感器领域的研究较晚，但已经成为不可或缺的力量，中国的部分专利权的创新主体协同格局前提下，加大政府科技资金投入不但可以消解技术创新发展中的资金阻滞，又有助于引导企业或单位技术创新意识，从而提高我国创新驱动效率，促进经济快速而稳健的发展。