型号
技术参数
CL-4
CL-6
CL-8
台
体
尺寸
4英寸
6英寸
8英寸
水平旋转
可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置
X-Y移动行程
4英寸*4英寸
6英寸*6英寸
X-Y移动精度
10微米/1微米
样品固定
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
针座平台
Zui多可放置4个探针座
Zui多可放置6个探针座
背电极测试
样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极
显
微
镜
显微镜类型
单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜
放大倍率
16X-200X/20X-4000X
移动行程
X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴行程50.8mm
光源
外置LED环形光源/同轴光源
CCD
200万像素/500万像素/1200万像素
探
针
座
X-Y-Z移动行程
12mm*12mm*12mm
移动精度
10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式
磁力吸附/真空吸附
探
夹
具
线缆
同轴线/三轴线
漏电精度
10pA/100fA/10fA
固定探针
弹簧固定/管状固定
接头类型
BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
针尖直径
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
材质
钨钢/铍铜
外形
400mm长*400mm宽*600mm高
580mm长*480mm宽*600mm高
重量
约40千克
约60千克
可选附件
加热台
屏蔽箱
高压测试配件
显示器
光学平台
显微镜快速倾仰装置
转接头
镀金卡盘
激光系统
射频测试配件
光电测试配件
探针卡夹具
根据客户要求定制
