技术参数：
射频探针台
CRF-6
台体尺寸
6英寸
水平旋转
可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置
X-Y移动行程
6英寸*6英寸
X-Y移动精度
10微米/1微米
样品固定
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
针座平台
Zui多可放置6个探针座
背电极测试
样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极
显微镜
单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜
放大倍率
16X-200X/20X-4000X
移动行程
X-Y轴行程2英寸*2英寸/水平360度旋转，Z轴行程50.8mm
光源
外置LED环形光源/同轴光源
CCD
200万像素/500万像素/1200万像素
探针座
X-Y-Z移动行程
12mm*12mm*12mm
移动精度
2微米/0.7微米/0.5微米
角度调节
可调射频探针水平角度±10度
吸附方式
磁力吸附/真空吸附
探针夹具
同轴线/三轴线/射频线
漏电精度
10pA/100fA/10fA
固定探针
弹簧固定/管状固定/限位固定
接头类型
BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/SMA/2.92mm/2.4mm/1.85mm/1.0mm
直流针尖直径
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
射频探针频率
DC-40GHZ/50GHZ/67GHZ/110GHZ
材质
钨钢/铍铜
外形
580mm长*480mm宽*600mm高
重量
约60千克
可选附件
加热台
屏蔽箱
高压测试配件
显示器
光学平台
显微镜快速倾仰装置
转接头
镀金卡盘
激光系统
光电测试配件
探针卡夹具
根据客户要求定制
