芯片用真空烤箱适用于各行业如光电、硅晶片、电子芯片、电池、线路板、电子电器、制药、化工、塑胶、硅胶等真空脱泡处理及真空状态下烘烤，可充惰性气体，生产车间、实验室及科研单位测试之要求设备。
芯片用真空烤箱特点：
热风在箱内循环,热效率高,节约能源。
整机噪音小、运转平稳，温度自控,安装维修方便。
适用范围广, 可干燥各种物料，是通用干燥设备。
适合测定物品水分、烘干物品、干燥热处理及其它加热之用。
数显式温度调节仪进行温度控制、控温灵敏、操作简便、性能可靠,数字直接显示出工作温度,直观易读。
芯片用真空烤箱工作室温度可在室温至300°C之间任意恒温;能自动切断电源，保护设备和产品。
是实验室和规模生产不可缺少的设备。
利用强制通风作用,箱内设有可调式分风板,物料干燥均匀。热源可采用蒸汽、热水、电、远红外,选择广泛。
国内流线圆弧型设计,外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑;
温控系统采用微电脑单片机技术,控温,定时,超温报警;
芯片用真空烤箱显示为双屏高亮度数码管显示,示值准确直观,性能优越,触摸式按键设定调节参数;
温控传感器采用的是电容式原装进口部件;
采用进口电机及风叶;具有定时和计时功能;
内胆均为不锈钢材料制成;半圆形四角易清洁;
箱门完全松紧可由用户任意调节,整体成形的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度;
工作室为长方体结构,使有效容积达到,箱门采用钢化、防弹双层玻璃门,使观察工作室培养物品能让用户一目了然。
芯片用真空烤箱产品规格：
内尺寸：600（宽）×600（深）×600（高）mm；
外尺寸约：900（宽）×830（深）×1520（高）mm；以实物为准；
外部尺寸： 以实物尺寸为准
半导体用真空烤箱主要参数：
温度范围：RT+10℃～200℃可调（100℃以下可抽真空）
真空度： 760～1Torr
真空泵： 油真空泵（加过滤器）
芯片用真空烤箱控温系统：
温度控制器为数显仪表，单点式控温，可自动演算，PV/SV显示，按键设定
定时功能：采用欧姆龙计时器，时间结束后停止加热及抽真空功能，报警提示
感温线（K）型；
输出为3-32V；
芯片用真空烤箱电流控制器为：PID+SSR固态继电器；
加热方式：采用三面加热的热辐射的方式；（左、右、底三面）
发热材料为：不锈钢高温加热管；
温度范围：常温+30℃～250℃（之间可调可控）；
芯片用真空烤箱控制精度：±0.5℃;
显示精度：0.1℃；
箱内温度偏差：±5.0℃.(无真空下空载测试)
芯片用真空烤箱注意事项：
真空箱应在相对湿度≤85%RH，周围无腐蚀性气体、无强烈震动源及强电磁场存在的环境中使用。
真空箱外壳必须有效接地，以保证使用安全。
真空箱工作室无防爆、防腐蚀等处理，不放易燃、易爆、易产生腐蚀性气体的物品进行干燥，如有腐蚀性气体物品需提前说明，以便用特殊耐腐蚀材料制作。
芯片用真空烤箱真空泵不能长时期工作，当真空度达到干燥物品要求时，应先关闭真空阀，再关闭真空泵电源，待真空度小于干燥物品要求时，再打开真空阀及真空泵电源，继续抽真空，这样可延长真空泵使用寿命，也可以使用自动联锁装置控制，达到产品要求的真空度时自动停止，低于要求真空度时，自动启动抽真空。
干燥的物品如潮湿，则在真空箱与真空泵之间好加入过滤器，防止潮湿气体进入真空泵，造成真空泵故障。
干燥的物品如干燥后改变为重量轻，体积小（为小颗粒状），应在工作室内抽真空口加隔阻网，以防干燥物吸入而损坏真空泵（或电磁阀）。
芯片用真空烤箱经多次使用后，会产生不能抽真空的现象，此时应更换门封条或调整箱体上的门扣伸出距离来解决。
真空箱应经常保持清洁。箱门玻璃切忌用有反应的化学溶液擦拭，应用松软棉布擦拭，不能用尖锐物涂画钢化玻璃窗。
若真空箱长期不用，将露在外面的电镀件擦净后涂上中性油脂，以防腐蚀，并套上塑料薄膜防尘罩，放置于干燥的室内，以免电器元件受潮损坏，影响使用。
真空箱不需连续抽气使用时，应先关闭真空阀，再关闭真空泵电源，否则真空泵油要倒灌至箱内，也可配置特殊阀防止真空油倒流
芯片用真空烤箱若工作室内干燥物的湿度较大，产生的水气会影响真空泵的性能，建议在干燥箱和真空泵之间，串入一个“干燥/过滤器”。
若在干燥物品的过程中，需要加入氮气等惰性气体，应在合同中注明，增配一个进气阀。
芯片用真空烤箱维护及保养：
经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常，经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。
换油期限按实际使用环境条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。
芯片用真空烤箱一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。
有条件的对管中同样进行清理，确保管路畅通。
芯片用真空烤箱重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。
检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。
点动电机，试看电机转向是否正确。
开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，检查电机负荷情况。
芯片用真空烤箱尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在高效率点运转，才能获得大的节能效果。
真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，高温度不得超过80C。
如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。
真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，停止电机。
芯片用真空烤箱真空泵在工作一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。
经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。
定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。
真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。
真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。