芯片用氮气烤箱是一种新型工业级干燥设备,采用长轴耐高温大功率轴流风机,不锈钢涡轮扇叶,结合独特设计风道,智能PID温控器结合SSR固态继电器控制高效不锈钢发热器加热,形成温度均匀的高温热风,对箱体内部进行加热,确保烘箱内部达到理想的温度环境。
芯片用氮气烤箱用途
产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤,LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。
详细参数;
芯片用氮气烤箱箱体结构
内部材质:采用SUS304#日制800番1.5mm厚之镜面不锈钢板,满焊处理,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生PARTICLE。
外部材质:外部采用1.2mm厚优质冷轧钢板经防锈处理后喷塑,耐刮伤,造型美观。
保温材质:采用100K保温棉,六面保温断热,保温厚度为80mm-120mm,保温性能好。
芯片用氮气烤箱箱门结构:箱门于箱体结合处采用耐高温硅橡胶条密封迫紧,保温性能好,抗老化,环保无污染。
载物层架:可根据物品大小调节层间距,空间利用率高。
温度控制系统:采用日本三菱PLC+7寸彩色触摸屏人机交互界面,定值/程序(程控100段)两种控制模式,带传感器断线报警功能,带超温警报保护功能,确
保产品运行安全。
芯片用氮气烤箱控温方式
讯号来源:采日制进口CA感应棒±0.5%。
输出被控组件:SSR固态无节点输出,确保加热功率。
箱内热风循环系统
芯片用氮气烤箱送风方式:箱内采用单向水平运风,两侧风道内强压送风。
风道结构:风道两侧采用高密度冲孔风板,控制导流板角度,确保箱内温度均匀性。
送风装置:采用大功率三相异步耐高温型长轴静音马达+大口径不锈钢涡轮扇叶,涡轮经水平纠正处理,确保运风平稳,噪声≤65dB。
芯片用氮气烤箱送风装置安全保护系统:带超温过载过流保护功能,确保马达及风机的使用寿命和安全性能。
电加热系统:采用覆套式不锈钢无尘化电热发生器,洁净不产尘(无缝洁净不锈钢覆套,高绝缘导热改性氧化镁浇筑,无名火,安全不漏电)
芯片用氮气烤箱氧含量控制系统
氮气排氧控制系统采用双路氮气导入回路,各向箱内提供100L/min +200L/min的氮气,每路配套进口电磁阀,双流量自动切换,在箱内达到无氧环境后,自动切换至低流量氮气,大大节省氮气消耗量,也可根据工艺制程要求,自行设定,满足多种工艺需求。
排氧时间≤30min,带耐高温氧含量控制仪,氧化锆氧含量传感器,耐高温自吸泵一套,可实时检测氧含量并显示实际数值,配备氧含量超标报警功能。
芯片用氮气烤箱整机安全保护系统
采用三重超温保护系统,确保箱体在运行过程中的整体安全性能(详见技术参数)。
箱体内部电器保护系统(确保箱体内部电器运行平稳,安全可靠):
超温防止器(独立限温,超温断电);
相序保护(欠压欠相保护);
马达过电流保护;
控制线路保险丝;
芯片用氮气烤箱电热过电流保护;
无熔丝开关。
选配组件:
程序多段控温:可配置程序型温度控制器,大实现100段程序控温。
测试孔:可在侧面加装Φ50mm测试孔。
无纸多点温度记录仪:可配置无纸多点温度记录仪(4/6/9/12通道),可实时监控记录温度变化.
快速降温功能:风冷+水冷。
可加装MES系统。
芯片用氮气烤箱箱体结构尺寸
内尺寸:800(宽)×600(深)×1000(高)mm;(可定制)
外尺寸约:1400(宽)×820(深)×1800(高)mm含脚轮,以实物为标准;
控制在板:控制器位于机台上方(如图);
芯片用氮气烤箱开门方式:单箱单门对开;
可窗口:门上无可窗口;
内材质为:304#不锈钢,砂面板,厚1.2mm;
外材质为:冷轧钢板,厚1.2mm,粉体烤漆处理;
芯片用氮气烤箱隔层:内箱分为四层,底起80mm层,以上平分,配网板四块;
保温材质为:耐高温玻璃纤维岩棉,保温效果好;
门口密封材质为:耐高温硅胶条;
底部安装活动脚轮及四个固定脚杯,可任意推动,固定位置.
芯片用氮气烤箱温控系统
温度控制器为7寸触摸屏+PLC控制(威硕),定值或程序运行控制温度可选择使用,可自动演算,PV/SV显示,点触设定(如图)
定时功能:内置定时功能,温到计时,时间到停止加热,报警提示;
数据端口:USB端口下载历史数据,数据模式为Excel文文件模式,计算机连接端口RS232接口;
芯片用氮气烤箱曲线:触摸屏表上可查看运行时的温度曲线;
温传感器:PT100高温型;
控制输出信号:为3-32V;
加热控制为:固态继电器SSR无接点;
加热组件为:耐高温加热管;温度范围:RT+25~200℃温度可调;
芯片用氮气烤箱升温速率:200℃约35分钟;
控制精度:±0.5℃(恒定状态);
12、显示精度:0.1℃;
温度偏差:±3.0℃(空载恒定状态)