UC350L半自动单主轴划片机可广泛用于各种晶圆、陶瓷、硅片、玻璃、PCB、铌酸锂、氧化铝、石英等产品加工场景。
1.主流 8寸、12寸陶瓷盘(可选)
2.标配CCD自动校准、自动对焦功能
3.标配接触测高、 NCS(非接触测高)功能
4.标配 BBD(刀破损检测)功能
5.标配CCD自动刀痕宽度检测功能
6.选配多工件切割、在线磨刀、12寸方盘等功能
可加工世界主流 8寸至 12寸晶圆,人性化易操作的 UI交互界面。
Z轴采用进口C0级滚珠丝杆、雷尼绍光栅尺全闭环控制,运动分辨率达0.0001mm,定位精度
达 0.001mm/50mm。
X/Y轴采用进口高精密直线电机,雷尼绍光栅尺全闭环控制,运动分辨率达0.0001mm,定位精
度达 0.002mm/350mm 。
床身采用高性能大理石结构,不易变形。