激光气体在线监测系统采用原位测量方式，直接在安装点完成分析。整个系统由中央处理单元、发射探头、接收探头与复合光缆组成。激光光源位于中央处理单元中，所发激光由光缆传至发射探头，激光穿过被测气体后被接收探头检测。检测信号传回中央处理单元进行处理、分析与显示。中央处理单元还承担人机工作界面和输入输出的功能。发射探头与接收探头直接安装于现场分析管线的两侧。
激光气体在线监测系统可直接在待侧管线分析，无需采样、样气输送、预处理系统等，响应速度快。实现快速的高精检测，激光区别于普通光源的重要特性之一是它良好的单色性能。从根本上排除了传统气体吸收谱技术测量某一气体成分时受到气体中其它成分吸收谱干扰的可能，更能反映待侧成分的实际含量及微小变化。
在被测气体进入设备之前，需要对被测气体的流量进行监测和控制。当设备做痕量分析时，被测气体的体积很小，流量测量越准确就越容易定性的分析出气体。因此，一个在小流量下能**测量出流量的流量传感器就非常重要。
欧姆龙D6F系列流量传感器，通过ASIC的线性温度补偿实现±3%RD的高精度测量，采购小等级MEMS元件，实现产品的小型化。
测量范围从0.1L/min – 70L/min，可用于堵塞检测、燃烧控制、流量测量、风量检测等多种场合。
